一种保证良好的加工质量的新型高纯度自动恒温去离子水制取装置。本发明采用的技术方案为：包括循环冷却部分、去离子自动循环部分、电气控制部分，其特征是：去离子水制取装置的水箱主体的上面安装循环冷却部分和去离子自动循环部分，水箱的一侧安装有控制柜，控制柜里面安装电器控制部分；循环冷却部分包括冷却泵、过滤器、电磁阀、水冷机；去离子自动循环部分包括循环泵、树脂桶、电导率仪。该套高纯度自动恒温去离子水制取装置充分满足了电火花精密加工的要求：1、电导率实时监测，自动控制去离子水处理；2、自动恒温处理，保证了加工介质的温度；3、节能、效率高、去离子稳定、自动化程度高。