一种表面处理湿制程清洗液循环利用系统，包括：清洗液储存槽，用于收集待处理清洗液形成储存清洗液；碳纤维过滤器及臭氧产生器，用于过滤并氧化羟基有机物而回送至清洗液储存槽；逆渗透分离单元，用于接收储存清洗液，并形成浓缩液以及渗透液；双极电透析单元，用于接收浓缩液并经电透析产生透析浓缩液、分离水及透析水，透析水回送至逆渗透分离单元；吸附分离单元，用于接收分离水并吸附阴离子、阳离子及螯合剂后回送至浓缩液储存槽；以及后级树脂吸附单元，用于接收并吸附渗透液的阴离子及阳离子，产生具有去离子水等级的再生去离子水，以供再利用。