本发明公开了一种具有出水水质调节机构的超纯水制备装置。包括两套超纯水制备装置、两个纯水泵、储存槽、用水点、水质检测点；两个纯水泵分别位于储存槽后和两套超纯水制备装置中间，储存槽后和用水点之间连接有一条支路，上有一调节阀，配管上安装有两个流量计分别检测系统入水流量和经过超纯水制备装置的流量。支路流量反馈量与储存槽后的纯水泵形成控制回路，出口压力反馈量与另一个位于超纯水制备装置之间的纯水泵形成控制回路，实现了出口压力和支路流量的同时控制，且支路中的超纯水可以实现两个方向上的流动。这样，通过对支路流量的控制实现对出水水质的调节，充分的利用了系统资源并节省了系统的耗材的消耗。