本发明涉及一种微波光催化废水降解处理装置内部关键构件维护方法，属于废水处理技术领域。现有微波光催化废水降解技术中，存在有机质膜分离组件热蚀破坏问题，以及，无极紫外灯屏护用石英管其外侧面积垢问题，本发明旨在一揽子地解决上述问题。本发明方法的步骤包括用金属材质的箱笼状微波屏蔽罩将膜分离组件裹藏其内；以及，在微波光催化反应器的内部或外表面安装超声波换能器；以及，启动其相关电源。本发明所涉微波隔离方法不妨碍膜分离组件的功能及其运作；本发明方法并以高频超声波达成所述积垢在免拆机、免停机前提下的即时清除。本发明方法一揽子地解决了微波光催化装置中两个关键构件的即时维护问题。