本发明公开了一种含氟废水的处理方法，所述含氟废水采用废水处理精馏系统处理，所述废水处理精馏系统包括精馏釜、填料精馏塔、冷凝器和贮液器，所述方法为：将含氟废水从精馏釜的废液进口通入，同时将吸水溶剂从溶剂进口通入，从出气口采出氟化氢，当填料精馏塔塔顶温度高于氟化氢采出温度时，停止采集；逐步升高精馏釜温度至80～150℃、0.110～0.120MPa，从出气口采出三氟乙酸，当填料精馏塔塔顶温度高于三氟乙酸采出温度时，停止采集；本发明所述废水处理方法分离效果好，产品纯度高，氟化氢回收率可达98.6%，产品纯度可达99.9%，三氟乙酸回收率可达99.0%，产品纯度可达99.8%，不产生任何三废，处理过程中产生的浓酸可重复利用。