本发明的物联网射频收发组件中固支梁振动/电磁自供电微传感器，集成了压电换能器和整流天线系统两种能量收集自供电模块，分别对机械振动能和杂散电磁能起到收集、转换和储能的作用。该发明以砷化镓为衬底，由MEMS固支梁、滤波电路、整流电路和储能电容组成。MEMS固支梁从上往下共有五层：上电极，压电薄膜，下电极，氮化硅电介质层和矩形微带贴片天线。该发明中两种模块的集成能够相互补充，微带天线结构用作质量块增强梁振动的惯性力和形变，随着梁的振动能够扩展微带贴片天线收集能量的方向性范围。该发明提高了能量收集效率和供电能力，为解决低功耗系统的自供电问题提供有效方案，增强系统的电磁兼容性能，减少了系统结构的抖动。