本发明涉及丙烯酸酯聚氨酯化学机械抛光层，具体包括一种化学机械抛光垫，其包括丙烯酸酯-聚氨酯抛光层，其中所述抛光层的拉伸模量为65-500MPa；断裂伸长率为50-250％；储能模量G'为25-200MPa；肖氏D硬度为25-75；湿切割速率为1-10微米/分钟。