一种单极性微秒脉冲高压电源，包括主电路系统（110）和控制系统（100）；主电路系统（110）完成各级电源模块的储能充电，各级电源模块在控制系统（100）驱动信号的控制下完成对负载放电，输出单极性微秒脉冲高压；控制系统（100）产生电平信号，电平信号传递到主电路系统的开关驱动电路，产生驱动控制信号，从而控制主电路系统开关的开通关断，在主电路系统的末端获得脉冲输出。每个单级电源模块在负载匹配电阻上放电得到的低压脉冲进行叠加获得高压脉冲，多级脉冲同步叠加可以获得方波脉冲，此时控制系统（100）的工作方式为同步触发方式；延时叠加可以获得具有阶梯沿的三角波，此时控制系统（100）的工作方式为延时触发方式。