本发明涉及一种复合结构高电能密度厚膜及其制备方法，属于电子功能材料与器件领域。为提高反铁电厚膜的储能密度，本发明制备得到表面覆盖ZnO覆盖层的锆酸铅基反铁电复合厚膜材料，使制得的复合结构的锆酸铅基反铁电厚膜既具有较高的储能密度和介电常数，又具有较低的介电损耗，能够在高功率大容量电容器中得到应用。