本发明公开了一种光阳极薄膜材料的制备方法，属太阳能电池用材料制备领域。该薄膜材料包括：在氧化铟锡导电玻璃上涂覆第一层TiO₂颗粒，退火处理；退火后，在第一层TiO₂颗粒上涂覆第二层TiO₂颗粒，加热得到TiO₂颗粒膜；将得到的TiO₂颗粒膜浸入NH₄F水溶液中，取出后在蒸馏水中清洗，干燥后得到具有FTO/TiO₂/TiO₂/F结构的薄膜；在形成的FTO/TiO₂/TiO₂/F^-薄膜上沉积In₂S₃，加热后得到结晶性In₂S₃形成FTO/TiO₂/TiO₂/F^-/In₂S₃薄膜；将处理后得到的FTO/TiO₂/TiO₂/F^-/In₂S₃薄膜浸入ZnCl₂的乙醇溶液中，浸泡后取出，在乙醇中清洗，干燥得到具有FTO/TiO₂/TiO₂/F^-/In₂S₃/ZnS结构的光阳极薄膜材料。制成的薄膜材料采用结晶性In₂S₃作为吸光层，可吸收更多的太阳光，提高载流子的分离效率，延长载流子的寿命。