本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，该方法包括如下步骤：将沉积有钼层的衬底加热至300～400℃，调节电流至30～70mA，采用蒸镀法，蒸汽状的镀膜材料沉积在所述钼层上，得到第一层薄膜，所述第一层薄膜表面呈贫铜富锌状态；调节衬底的温度至400～600℃，调节电流至80～150mA，采用蒸镀法，沉积得到第二层薄膜，所述第二层薄膜表面呈富铜状态；调节衬底的温度为400～600℃，调节电流至20～70mA，采用蒸镀法，沉积得到第三层薄膜，所述第三层薄膜表面呈贫铜状态。本发明提供的单源三步共蒸镀法可以制造出高效率、高均匀度的薄膜，从而提高了太阳能电池的效率。