本发明公开了一种硅片全自动上下料机械手及其运动轨迹控制方法，用于多通道链式制绒、链式清洗和烧结设备中完成硅片的全自动上下料。本发明的机械手包括安装底座、肩关节、大臂、小臂、用于将硅片抓取到多通道太阳能电池片工艺设备上的手爪，通过电机控制大臂、小臂摆动，通过参数化设计和PID控制实现机械手的运动轨迹精确控制。本发明解决了链式制绒、链式清洗和烧结设备上下料系统占用空间大、机构复杂、灵活度低、响应慢、生产成本高，以及硅片表面磨损大和转换效率低，碎片率高的问题。