您当前的位置:首页 > 供应列表 > 技术详情
一种具有倒金字塔结构模板的制备方法
编号:S000032984 刷新日期: 有效日期至:2020-12-05 浏览:2434 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明属于微纳米加工技术领域,具体为一种具有倒金字塔结构模板的制备方法。首先在单晶硅衬底正反两面都用PECVD的方法沉积氮化硅保护层;再在上述已沉积氮化硅保护层的硅片正面上旋涂光刻胶,并利用光刻制备光刻胶方块阵列结构;在光刻胶结构上利用电子束蒸镀的方法沉积一层金属铬,经过举离后得到铬的方格阵列结构;再以铬方格阵列结构为掩膜,用ICP刻蚀氮化硅,得到氮化硅的方格阵列结构;最后用异丙醇、KOH、水配成腐蚀液,利用湿法腐蚀硅从而得到倒金字塔结构。本发明方法制备的倒金字塔结构模板面积大,结构均匀完整,能有效的用于太阳能电池表面制绒等方向。
分享到:
联系方式
在线QQ: 点击这里
机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
相似供应