一种硒化/硫化处理装置，包括反应炉、样片传送机构及离子生成器。反应炉内部开设有反应腔；样片传送机构用于放置并传送沉积有前驱体的样片，所述样片位于所述反应腔顶部；离子生成器设置于所述反应腔的底部，并与所述样片相对，所述离子生成器包括收容壳及射频天线；收容壳上开设有收容槽，所述收容槽用于收容硒源或硫源；射频天线设置于所述收容壳外侧，所述射频天线与外部射频电源电连接，用于产生射频电场以将硒源或硫源电离为硒离子或硫离子。上述硒化/硫化处理装置通过射频天线产生射频电场，以将硒源或硫源电离生成高活性的硒离子或硫离子，提高了硒化或者硫化的质量，制得的太阳能电池吸收层质量较好，进而提高了太阳能电池的转换效率。