本发明公开了一种三层复合结构减反射膜的光伏电池及其复合镀膜方法。本发明采用在太阳能光伏电池的硅片的表面，由里向外，沉积镀有三层膜厚与折射率分别为膜厚10nm，折射率2.3；膜厚22nm，折射率2.16；膜厚50nm，折射率2.0的复合结构的氮化硅减反射膜，通过复合膜层的折射合成，扩展硅片对各频谱波段的阳光的吸收带宽，最大限度地减少反射，以提高太阳能光伏电池的电转换效率的技术方案，克服了现有技术存在减反射频谱带宽狭窄、光电转换效率难以提高的问题与不足，通过三层复合结构的氮化硅减反射膜使太阳能光伏电池达到了扩展减反射频谱带宽、提高光电转换效率的目的。