本发明公开了一种透明导电氧化物薄膜的制绒方法，由于采用等离子体浸没离子注入技术对透明导电氧化物薄膜进行反应离子刻蚀处理，可以得到具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜，因此可以将该具有绒面结构的透明导电氧化物薄膜应用于太阳能电池的前电极，以起到较强的减反或陷光作用。此制绒方法不仅可以避免湿法刻蚀所引进的杂质沾污对太阳能电池性能的影响，并且采用等离子体浸没离子注入技术在透明导电氧化物薄膜上制作绒面结构，还可以灵活调整绒面结构，从而提升太阳能电池的光电转换性能。