本发明涉及用于染料敏化太阳能电池的柔性透明电极及其制造方法，更具体地，涉及用于染料敏化太阳能电池的柔性Ti-In-Zn-O透明电极及其制造方法，并且涉及利用了柔性透明电极的具有高电导率的插入有金属的三层透明电极及其制造方法，其中，与具有高沉积温度的常规的掺氟氧化锡（FTO）和氧化铟锡（ITO）透明电极相比，尽管在室温下或低温下被沉积，但是柔性透明电极仍具有低表面电阻、高电导率和透射率、对外部弯曲的优异抵抗度、提高的表面特性以及更好的表面粗糙度性能。