本发明提供了一种晶硅腐蚀浆料的清洗方法、晶硅太阳能电池及其制作方法。该清洗方法包括：步骤S1，采用弱碱性溶液对残余腐蚀浆料的硅片进行超声清洗；步骤S2，采用纯水将完成步骤S1的硅片进行清洗。采用弱碱性溶液直接清洗弱酸性的腐蚀浆料，在超声作用的配合下，利用化学反应替代现有技术中的纯物理清洗作用，在较短的时间内即可完成，并且能够将处于边角位置的腐蚀浆料通过化学反应快速去除，不仅保证了清洗效果而且在缩短了清洗时间；同时，由于碱性溶液对硅片的主体没有腐蚀作用，因此不会对硅片已有的结构造成影响，进而不会影响以其制作的太阳能电池的效率，反而会由于清洗较为干净进一步提高了太阳能电池的各项性能。