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> 技术详情
一种单晶硅太阳能电池的生产工艺
编号:S000030764
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-09
浏览:
2155
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种单晶硅太阳能电池的生产工艺,步骤如下:在P型单晶硅片上表面淀积含有磷元素的二氧化硅薄膜;对淀积后的硅片进行第一次高温扩散,形成PN结;除去单晶硅片上表面电极区以外的氧化层;在单晶硅片上表面淀积本征非晶硅层;将单晶硅片置于湿氧环境中进行第二次高温扩散,使非电极区掺入的磷元素扩散入非晶硅层,电极区氧化层中的磷元素进一步向电极区扩散,形成电极区的重掺杂,同时非晶硅层及非电极区的硅片表面被氧化;去除单晶硅片表面的二氧化硅;在单晶硅片表面淀积氮化硅抗反射层;制备金属电极。本发明通过非晶硅吸收非电极区的杂质,使非电极区的掺杂浓度降低,致使电极区与非电极区的掺杂浓度差进一步增大,提高了电池性能。
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