本发明公开了一种渐变折射率减反膜太阳能电池制备方法，包括以下步骤：在硅片正面形成绒面；在硅片正面进行P扩散，然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃和周边P扩散层；在所述硅片正面形成渐变折射率减反膜；在所述硅片背面形成背电极和铝背场；在所述硅片正面形成正电极。本发明的方法制备的太阳能电池电学性能好，衰减小。