本发明涉及一种太阳能电池的镀膜设备，具体涉及一种晶体硅太阳能电池双层镀膜设备，包括反应腔室，双层硅片载板，上进气孔，下进气孔，排气孔，上等离子源及下等离子源，真空泵，加热装置，该设备可以同时对上下两层硅片进行减反射膜制备，使得设备产能增大，适用于工业化生产。