本发明公开了一种N型背结太阳能电池的制备方法，所述方法包括：对N型单晶的硅片的受光面进行离子注入；对离子注入后的硅片进行高温氧化激活；对高温氧化激活后的硅片的背光面进行硼扩散；在硅片的背光面形成钝化层，在硅片的受光面形成减反膜；形成太阳能电池的电极。本发明能够提高太阳能电池的光电转换效率。