本发明公开了一种CIGS薄膜电池的激光沉积制备工艺，依次在Mo玻璃衬底上沉积钠化合物薄膜、CIGS薄膜、缓冲层薄膜和窗口层薄膜得到CIGS器件；本发明针对CIGS薄膜电池多层膜的特点，采用简洁的多靶连续旋转激光沉积，在同一真空腔内，共享一套激光系统便可连续制备出钠化合物薄膜、CIGS薄膜、缓冲层薄膜及窗口层薄膜，因而具有众多优点，另外由于整个电池器件主体包括p-n节的制备过程均未破真空，因而空气及杂质污染极少，在蒸发上Ni-Al电极并对电池进行退火处理之后，可得到转换效率高于12%的CIGS光伏器件。