本发明提供了一种硅锭线锯切割工艺中硅颗粒的回收方法，其包括以下步骤：（1）将硅锭线锯切割工艺的废液沉积以形成废料饼；（2）采用预处理溶液对废料饼进行预处理；（3）应用泡沫浮选法从步骤（2）的溶液中回收硅微粒。本发明的回收方法使硅锭线锯切割过程所产生的硅颗粒从浆砂以及金属和离子污染中被重新分离，并且其可在硅锭重结晶过程中被有效地重新利用，从而大大降低光伏发电或半导体应用的生产成本。