本发明公开了一种具有减反射膜的五结级联光伏电池的制造方法，在InP衬底（1）的上依次形成ＧａＡｓ子电池（2）、ＧａＩｎ Ａｓ子电池（3）、第一减反射层（4）、ＧａＩｎＰ子电池（5）、应变补偿ＧａＡｓＰ／ＧａＩｎＡｓ超晶格子电池（6）、第二减反射层（7）、第三减反射层（8）、ＧａＩｎＰ子电池（9）、第四减反射层（10）、第五减反射层（12）、第六减反射层（13）；在第六减反射层（13）的表面上形成顶电极（11）；在InP衬底（1）的整个下表面形成底电极（14）。