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一种电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器
编号:S000025794 刷新日期: 有效日期至:2020-10-15 浏览:2555 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
该发明属于射频通信及微机电系统(MEMS)技术领域中的电极与振动圆盘间隙可调的微机械谐振器。包括基片、设于基片上的振动圆盘,位于振动圆盘两则的环片式交流输入、输出电极及其接头,带定位头的静电电极及位于两端面上的绝缘片,含电极杆、电极臂和弹性导向臂在内的输入、输出电极移动定位组件;该发明由于在基片上增设了带定位头的静电电极及输入、输出电极移动定位组件,从而可将输入、输出电极与振动圆盘之间工作时的间隙(即带电间隙)控制在10nm左右并不会形成楔子形间歇。因而本发明具有谐振器加工工艺的难度低,可有效减小输入、输出电极与振动圆盘之间的间隙和圆盘谐振器工作时的动态电阻,谐振器Q值高,谐振器性能好等特点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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