本发明公开了一种太赫兹信号检测装置，包括集成芯片，所述集成芯片上同时设置低温半导体读出电路和超导体检测器；低温半导体读出电路和超导体检测器相互连通，超导体检测器用于检测太赫兹信号。本发明不仅能降低系统噪声提高超导太赫兹直接检测器的灵敏度、工作稳定性和运行速度，而且还便于设计和制作基于多通道读出电路的太赫兹二维检测阵列的成像系统。本发明将超导体元器件和半导体元器件集成在同一块芯片上，通过微加工技术很容易实现金属薄膜引线。因为集成度提高，也大幅度减少了焊盘从而实现了降低噪声和提高系统运行速度的目的。