本发明公开了一种基于光纤波导的微区激光探针成分分析仪，包括Nd:YAG激光器、波长可调谐激光器、CCD监控相机、计算机、光栅光谱仪、聚焦物镜、位移平台、数字延时脉冲发生器、增强型CCD；聚焦物镜为反射式聚焦物镜，Nd:YAG 激光器和波长可调谐激光器均使用光纤波导进行激光脉冲的传输，并经光纤准直镜准直，扩束镜扩束后进入所述聚焦物镜，由Nd：YAG激光器发射的激光脉冲用于对待分析样品表面微区进行烧蚀产生等离子体，由所述波长可调谐激光器发射的激光脉冲用于在所述等离子体上产生共振激发；光纤的一端用于采集所述等离子体发射的光谱信号，另一端与光栅光谱仪的光纤接口相连。本发明可以实现激光探针对物质微区成分的精确定性与定量分析。