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一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器
编号:S000022896 刷新日期: 有效日期至:2020-10-22 浏览:2512 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 浙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器。本发明包括宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器;且宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器自左向右依次耦合连接。光探测器为集成式MSM型硅基光电探测器,用于测量最终输出光强;宽带光源为外接的发光二极管所有输入光波导均为单模传输平面集成光波导;微腔传感单元为二维光子晶体微腔或一维光子晶体纳米梁微腔。本发明以强度探测取代频谱探测,避免使用光谱仪,结合平面光波导的集成化优势及微纳光腔的高灵敏度特性,实现光传感功能。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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