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一种n型外延衬底激光二极管的制造方法
编号:S000022609 刷新日期: 有效日期至:2020-12-07 浏览:2582 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种n型外延衬底激光二极管的制造方法,依次包括如下步骤:(1)在蓝宝石衬底上外延生长n-GaN外延衬底;(2)在n-GaN外延衬底上形成发光结构;(3)对所述发光结构进行刻蚀,从而将n-GaN外延衬底外围的发光结构去除,仅保留n-GaN外延衬底中部区域上的发光结构;(4)在n-GaN外延衬底的外围溅射形成n电极。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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