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> 技术详情
一种p型外延衬底激光二极管的制造方法
编号:S000022608
刷新日期:
有效日期至:
2020-11-27
浏览:
2381
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种p型外延衬底激光二极管的制造方法,所述方法依次包括如下步骤:(1)在蓝宝石衬底上外延生长p-GaN外延衬底;(2)在p-GaN外延衬底上形成发光结构;(3)对所述发光结构进行刻蚀,从而将p-GaN外延衬底外围的发光结构去除,仅保留p-GaN外延衬底中部区域上的发光结构;(4)在p-GaN外延衬底的外围溅射形成p电极。
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