扫描电镜薄样品透射过滤-反射接收式衬度分离成像方法属于扫描电镜成像技术领域，其特征在于，薄样品采用悬臂梁式单端固定状态，薄样品厚度在50～1000nm之间，透射成像方式减小了入射电子在样品中的多重非弹性散射，增强了低能真二次电子和高能弹性背散射电子的发射几率，分离了形貌衬度与通道衬度，形貌衬度与成分衬度，加速电压为5～15kV，入射电流为10^-9～10^-11A，工作距离为5～15mm，获得增强的单一衬度的二次电子像和背散射电子像，样品厚度控制在透射电镜观察用薄膜样品的二倍以上，使薄样品易于制备，适于各类扫描电镜及多种薄样品，如金属及合金，复合材料，半导体及外延层，陶瓷，有机物及纳米材料。