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阻变存储器的制备方法及阻变存储器
编号:S000021822 刷新日期: 有效日期至:2020-11-19 浏览:2410 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种阻变存储器的制备方法及阻变存储器,所述方法包括以下步骤:A:通过丝网印刷机将配置好的金属浆料氯铂酸印刷到衬底上,再经热处理得到金属字线;B:采用溶胶凝胶法制备金属氧化物浆料;C:采用丝网印刷机将配置好的金属氧化物浆料印刷到衬底和金属字线上,再经热处理得到阻变层;D:采用丝网印刷机将配置好的金属浆料氯铂酸印刷到阻变层上,经热处理得到金属位线。本发明中的制备方法采用溶胶凝胶与丝网印刷相结合的方法制造阻变存储器阵列,不需使用传统半导体制造工艺,因而降低了成本,其对工艺条件要求低,设备简单,工艺过程为低温过程,可与各种衬底材料和工艺兼容,且通过该方法制备的阻变存储器的特性和可靠性较好。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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