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一种石墨烯导电薄膜的制备方法
编号:S000021797 刷新日期: 有效日期至:2020-12-09 浏览:2618 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种石墨烯导电薄膜的制备方法,属于半导体材料制备技术领域。所述方法包括:在石墨电极表面利用电化学方法沉积金属铜;在铜表面利用化学气相沉积方法生长石墨烯;将热释放胶带黏贴在石墨烯表面,将铜薄膜从石墨基底表面剥离得到胶带/石墨烯/铜的复合膜;以这种复合膜为阳极、石墨为阴极,利用电化学方法腐蚀除去复合膜最外层的铜,得到胶带/石墨烯复合膜;将复合膜上的石墨烯转移至透明基底上,最终得到石墨烯导电薄膜。本发明提供的石墨烯导电薄膜的制备方法,不仅能有效减少石墨烯的破损,而且将铜膜的制备和铜的腐蚀同步完成,缩短了制备时间,降低了成本,可用于大面积石墨烯导电薄膜的制备。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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