本发明公开了一种传感器安装装置，涉及半导体设备制造领域，可实现传感器的倾斜角度的调节，且调节和锁定同步完成，简化了操作步骤。所述传感器安装装置，包括：角度调整块、移动调整块和弹性连接件，其中：角度调整块和移动调整块平行设置，传感器与角度调整块的一端固定连接，使传感器位于角度调整块和移动调整块之间的平行空间内；弹性连接件垂直于角度调整块和移动调整块，弹性连接件的两端分别与角度调整块的另一端的侧面和移动调整块的侧面固定链接，从而将角度调整块和移动调整块连接在一起；通过使弹性连接件产生朝向或远离传感器的方向弯曲，实现传感器俯角或仰角的调节；通过使移动调整块产生水平方向上的位移，实现传感器位置的调节。