本发明提供一种检查装置，其可以使连接配线构造简单，且容易进行等长度配线。该检查装置至少包括：具有分别与半导体晶片的每个检查对象芯片对应排列的、与各芯片的多个电极接触的多个探针的探针卡；和分别与该探针卡的上述各探针电连接、并将来自测试机的测试信号施加到上述各探针上的测试机头，其中分别与上述多个探针电连接的探针基板的多个测试区、和与各测试区对应的上述测试机头的测试机侧的多个电连接部以构成多个排列区域的状态被排列，所述多个排列区域是与以上述检查对象芯片为单位地对应地来区分得到的，探针基板的多个探针与，以检查对象芯片为单位地设置在排列区域的、对应的测试区连接。