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> 技术详情
电镀用阳极组件和电镀装置
编号:S000021704
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-06
浏览:
2483
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
一种电镀用阳极组件和电镀装置。所述电镀用阳极组件包括:阳极面板;多个支撑线,所述支撑线的第一端固定在阳极面板的边缘区域;支撑杆,一端固定在阳极面板的中间区域,所述支撑杆上设置有滑动装置和止位装置,所述支撑线的第二端固定在所述滑动装置上;所述支撑线的第二端随滑动装置一起移动,且当所述滑动装置通过止位装置进行固定后,所述支撑线使所述阳极面板处于弯曲状态。本发明可以在半导体晶圆的中央区域及周围区域形成均匀的金属层或薄膜,最终改善电镀的质量。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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