本发明提供一种晶片检查用接口，当进行形成在多个半导体元件的电特性检查时能够防止晶片弯曲。晶片检查用接口（18）包括：配置有多个探针（25）的探针卡（20）；保持该探针卡（20）的固定环（21）；夹着晶片（W）使其与探针卡（20）相对的吸盘（23）；密封由固定环（21）、探针卡（20）和吸盘（23）包围的外侧空间（27）的外侧密封环（24）；对外侧空间（27）进行减压的外侧减压路径（29）；密封由探针卡（20）和晶片（W）包围的内侧空间（28）的内侧密封环（26）；对内侧空间（28）进行减压的内侧减压路径（30）。内侧空间（28）被包含于外侧空间（27）且晶片（W）配置于内侧空间（28）内。