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承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法
编号:S000021659 刷新日期: 有效日期至:2020-12-02 浏览:1986 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明一般涉及半导体集成电路制造领域,更确切的说,本发明涉及一种承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法。本发明一种承载装置及利用该装置进行晶片转移的方法,通过在承载平台上设置可移动的传感器,以针对不同规格和尺寸的晶片而设定传感器的位置,进而利用该可移动的传感器对不同尺寸的晶片进行识别检测,且能准确的检测识别出具有特殊形貌的晶片,以有效避免承载平台中叠片现象的出现,降低因识别不到晶片而发生碎片的危险,进而增大产品的良率,降低工艺成本,且对现有的设备改动小,其兼容性比较强。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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