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> 技术详情
一种耐腐蚀ZnO薄膜及其制备方法
编号:S000021580
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-18
浏览:
2422
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 - 江苏
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种耐腐蚀ZnO薄膜及其制备方法,属于半导体材料与器件技术领域。ZnO薄膜通过射频磁控共溅射法制备,所用的靶材为Sn靶、本征ZnO靶和AZO靶(Al掺杂的ZnO靶),制备Sn掺杂的ZnO薄膜和Al-Sn共掺杂的ZnO薄膜。本征ZnO薄膜掺入Sn之后,其耐腐蚀性得到改善;对Al掺杂的ZnO薄膜掺入Sn之后(Al-Sn共掺的ZnO薄膜)其耐腐蚀性能也得到改善,而且Al-Sn共掺的ZnO薄膜相对于Sn单独掺杂的ZnO薄膜其耐腐蚀性能更好。本方法制作工艺简单,沉积温度低,所用材料和工艺对环境无污染,制得的ZnO薄膜具备耐腐蚀和透明导电功能,可以提高ZnO薄膜材料和器件在恶劣环境下工作的稳定性。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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