本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种测试高纯管道吹扫效果的方法。本发明提出一种测试高纯管道吹扫效果的方法，通过根据特气管路中阀门分歧箱布局的不同进行分类，并选择最末端的阀门分歧箱作为测试对象，测试管路内的水份、氧份和颗粒来判断吹扫后管路的洁净度，并抽查除已检测过的阀门分歧箱之外进行抽查；这样，不仅明确了测试管道的内容和指标，还可避免时间、人力和财力的浪费，使得测试数量最小化，同时还能有效控制测试风险，增大产品良率。