本文公开了一种用于自动地调整处理系统从空转模式恢复到正常操作模式的恢复时间，以便改善资源利用(如，能量消耗)效率的方法和设备。该处理系统可为用于半导体制造的系统，且包括由辅助装置(如，真空泵或消除装置)支持的处理工具。参数的数目可控制成调整辅助装置的恢复时间。在各个恢复循环结束时，那些参数中的一个或多个可基于测量到的实际恢复时间与预定的目标恢复时间之间的比较增大或减小。因此，实际测量到的恢复时间可逐渐地与预定的目标恢复时间会合，从而优化处理系统的资源利用。