本发明一种基于木素磺酸盐模板剂液相沉淀法制备纳米氧化锌的方法，属于半导体技术领域。采用木素磺酸盐为模板剂，以十二烷基磺酸钠为表面活性剂，通过液相沉淀法并经过不同温度煅烧得到纳米氧化锌复合材料。本工艺采用木素磺酸盐为模板剂和十二烷基磺酸钠为表面活性剂，通过液相沉淀法并经过不同温度煅烧制备纳米氧化锌复合物，煅烧过程中木素磺酸盐的一些基团被烧掉，留下空隙，钙盐转化为CaCO₃，生成的产品为ZnO、CaCO₃等的复合物。本工艺具有易于控制，成本低，工艺和流程简便的优点，制备的纳米氧化锌复合物，适合工业化生产。