本发明公开了一种离子束采集系统与离子束采集方法，属于半导体制造领域。离子束采集系统包括：计算机、运动控制器、直流电机、移动法拉第，离子束采集方法包括离子束采集系统对离子束的等距均匀采集，通过计算机编制控制程序，由运动控制器控制直流电机带动移动法拉第运动，同时运动控制器根据直流电机运动产生等距离触发脉冲，实现运动控制器等距均匀采集离子束流的目的。本发明能够实现离子束流精确、均匀的采集。