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电感
编号:S000021358 刷新日期: 有效日期至:2020-10-26 浏览:2267 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种电感,包括电感线圈和衬底结构。衬底结构包括:P型半导体衬底、N型外延层和多个条形结构的采用光刻和离子注入工艺形成的P型掺杂区。P型掺杂区的深度大于等于N型外延层的厚度。P型掺杂区将N型外延层分隔成多个N型掺杂区,并形成N型掺杂区和P型掺杂区交替排列的结构。交替排列的N型掺杂区和P型掺杂区能够在衬底中形成耗尽区,使衬底呈高阻状态,从而能阻断衬底涡流;耗尽区还会减少衬底的寄生电容,能够提高器件的品质因素。本发明并不需要深沟槽隔离工艺,工艺成本低。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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