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> 技术详情
电感
编号:S000021358
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-26
浏览:
2625
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种电感,包括电感线圈和衬底结构。衬底结构包括:P型半导体衬底、N型外延层和多个条形结构的采用光刻和离子注入工艺形成的P型掺杂区。P型掺杂区的深度大于等于N型外延层的厚度。P型掺杂区将N型外延层分隔成多个N型掺杂区,并形成N型掺杂区和P型掺杂区交替排列的结构。交替排列的N型掺杂区和P型掺杂区能够在衬底中形成耗尽区,使衬底呈高阻状态,从而能阻断衬底涡流;耗尽区还会减少衬底的寄生电容,能够提高器件的品质因素。本发明并不需要深沟槽隔离工艺,工艺成本低。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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