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一种BCD集成器件及其制造方法
编号:S000021342 刷新日期: 有效日期至:2020-10-06 浏览:2493 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及半导体集成电路制造领域,特别涉及一种BCD集成器件及其制造方法,用以解决现有技术中由于制作掩埋层和外延层的工艺成本很高,从而使其应用范围受到限制的问题。本发明实施例的方法包括:衬底、超高压nLDMOS、高压PMOS和低压NPN,其中超高压nLDMOS、高压PMOS和低压NPN位于衬底中。由于超高压nLDMOS、高压PMOS和低压NPN直接制作在衬底中的,不需要传统工艺中的外延层,从而降低了制造成本,提高了性价比,扩大了其应用范围,弥补了现有技术的不足。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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