用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
一种等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法
编号:S000021331
刷新日期:
有效日期至:
2020-12-12
浏览:
2385
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及半导体设备中防蚀处理技术领域,具体涉及一种等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法。所述方法,包括如下步骤:将碳化硼粉末与聚乙烯粉末或酚醛树脂粉末混合均匀,并将混合后的粉末送入等离子喷涂设备;对待喷涂的铝基材的刻蚀工艺腔室无需喷涂的部位进行遮蔽,然后使用丙酮或酒精对刻蚀工艺腔室的内壁进行清洗;对清洗后的刻蚀工艺腔室的内壁进行喷砂处理;通过等离子喷涂设备在刻蚀工艺腔室内壁进行等离子喷涂,制备出碳化硼涂层。本发明在碳化硼粉末中加入少许聚乙烯粉末或酚醛树脂粉末不仅降低碳化硼在高温下的碳流失和氧化,促进了碳化硼涂层的致密化,并且不会在碳化硼涂层中引入杂质元素,从而获得性能良好、纯净的碳化硼涂层。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
一种用于纺织机械中的防跳线器
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
一种纺织印染用复合有机硅消泡剂
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
一种纺织物阻燃整理剂及其制备方法
所在区域:中国
转让类型:
技术转让
波影双弹功能纺织面料及其生产工艺
所在区域:中国
转让类型:
合作研发