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耐压封装的压差传感器
编号:S000021310 刷新日期: 有效日期至:2020-10-13 浏览:2484 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种压差传感器(1)包括:封壳(2),其具有陶瓷封壳主体(20)和在其内部的换能器座,在换能器座中布置具有测量膜元件(33)和至少一个支承元件(31、32)的半导体压力测量换能器(3),其中测量膜元件(33)与至少一个支承元件(31、32)以压力密闭方式连接,支承元件具有压力入口(37、38),其中导管(27、28)分别从封壳(2)的外表面延伸到换能器座内;其中压力入口与第一导管连通,其中压力能够通过压力入口(38)施加于测量膜(33)的一侧,其中支承元件(32)通过接合部42与换能器座的壁以压力密闭方式连接,接合部42包围第一压力入口和第一导管(28)进入换能器座内的开口,并且其中测量膜的第二侧与其第一侧液压地隔离并且与第二导管(37)连通。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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