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一种可用于传感器的新型纳米片薄膜及其制备方法
编号:S000021262 刷新日期: 有效日期至:2020-10-29 浏览:3632 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明属于半导体材料与化学化工技术的交叉领域,涉及传感器薄膜的制备方法,具体涉及一种可用于传感器的新型纳米片薄膜及其制备方法。本发明纳米片薄膜由占其质量35%~100%的纳米片状WO3和MoO3中一种或多种,以及占其质量0%~65%的W或Mo中的一种或多种组成。本发明以Na2WO4和Na2MoO4中的一种或多种、FeSO4、(NH4)2C4H4O6配置电解液,通过电沉积制备合金镀层,所述合金镀层原位生长于基体金属片上;通过脱出合金中的Fe成分后氧化纳米片状的沉积薄膜而得到产品。本发明方法不需使用复杂的设备,亦无须使用危险性的药品与溶剂,具有工艺简单、生产成本低,纳米片WO3薄膜厚度均匀等优点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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