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基于垂直双栅的抗辐照晶体管的制备方法
编号:S000021240 刷新日期: 有效日期至:2020-10-16 浏览:2261 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于垂直双栅的抗辐照晶体管及其制备方法,属于半导体器件领域。该器件包括凸形沟道、源、漏、底栅和顶栅,凸形沟道左右两边延伸到源端,凸形沟道凸起的部分连接漏。本发明由于单粒子垂直漏端入射的时候只经过沟道的垂直部分,不经过凸形沟道左右延伸部分,沟道左右延伸部分得到保护,重粒子辐照后沟道受影响的范围比较小,因而抗单粒子性能得到改善。且本发明提出了漏端位于沟道的凸起上,漏端与STI区完全隔开,STI区陷入的电荷无法在源漏间形成泄漏通道,因而具有很好的抗总剂量特性。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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